适应能力6至12英尺晶圆
可测试方法IL/PDL/RF/DC
晶圆级检查
光栅藕合/边藕合测式
迅猛解耦 (<1s)
极高交叉耦合重复使用性 (<0.1dB)
的设备尽寸: 1200X1200X2000